Analýza vzorku v charakteristickém rtg. záření-studium distribuce prvků
Fotony charakteristického rentgenového záření vznikají interakcí urychlených primárních elektronů s povrchem vzorku procesem vyražení elektronů z elektronového obalu atomu a následnými přeskoky elektronů z vyšších energetických hladin na nižšší. Energie fotonů charakteristického rentgenového záření nabývají diskrétních hodnot nejčastěji v řádech keV.
Oblasti vzniku produktů interakce primárních elektronů a povrchu analyzovaného vzorku
Fotony charakteristického rentgenového záření vznikají v hlubších zónách analyzovaného vzorku. Řádově maximálně v prvních µm pod povrchem vzorku v závislosti na energii primárních elektronů a hmotnostním čísle příslušného prvku. Ve spojení s mikroanalytickým systémem je možné detekovat přímo fotony charakteristického rentgenového záření studovaného prvku. Při procesu rastrování elektronového svazku a následnou digitalizací získáváme snímky povrchů vzorků pořízených v čarách jednotlivých prvků. Tyto snímky můžeme využít především pro studium distribuce jednotlivých chemických prvků ve vzorku. Významné je také jejich využití pro studium migrace prvků v reakčních zónách jednotlivých minerálů a pro bližší specifikaci jejich případné zonality
Mapy distribuce prvků Mg, Si, Ca a Fe získané metodou zpracování obrazu charakteristického rentgenového záření vzorku (cristobalitová chondrule v chondritickém meteoritu H4) pořízené v čarách Mg Kα, S, Kα, Ca Kα, a a Fe Kα.